1. 熱解工藝

熱解工藝是將廢氣加熱高溫，使其分解成簡單的化合物。能夠處理多種有機(jī)廢氣。其能耗較高，需要大量的能源支持，且會產(chǎn)生二次污染。

2. 吸附工藝

吸附工藝是將廢氣通過吸附劑進(jìn)行吸附，然后進(jìn)行再生。其吸附劑的再生需要消耗大量的能源。

3. 等離子體工藝

等離子體工藝是將廢氣放入等離子體中進(jìn)行處理。這種工藝處理效果較好，其設(shè)備成本較高，需要較大的投資。

4. 活性炭吸附工藝

活性炭吸附工藝是將廢氣通過活性炭進(jìn)行吸附，然后進(jìn)行再生。同時，其再生過程不需要消耗大量的能源，且再生后的活性炭可以反復(fù)使用。

綜上所述，活性炭吸附工藝是目前半導(dǎo)體廢氣處理中的工藝。它不僅而且能耗較低，再生過程不需要消耗大量的能源，且再生后的活性炭可以反復(fù)使用，具有較高的經(jīng)濟(jì)效益。